不同离子束参数刻蚀蓝宝石纳米微结构及其光学性能

摘要：

使用微波回旋共振离子源，研究Ar＋离子束在不同角度、不同入射能量下对蓝宝石表面的刻蚀效果及光学性能。结果表明：所用能量800 eV ，1000 eV及1200 eV时透过率都有很大的提升，由原来的50％提高到70％～80％，在能量为1000 eV时增幅最大，能量为1200 eV时增幅最小；在相同能量、不同角度下刻蚀后蓝宝石粗糙度呈先增大后减小的趋势，而在相同角度、不同能量下粗糙度方面无明显规律。刻蚀后表面形貌测试表明：角度不变，能量为1000 eV时出现点状纳米结构，能量为1200 eV时出现柱状纳米结构；能量不变，角度为10°、50°及80°时出现了规律较明显的点状或条状纳米结构，角度为30°时表面较为光滑。

关键词：低能离子束刻蚀、透过率、表面粗糙度、纳米结构

分类号：TN205;TB753.2(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2014-08-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：691-695