基于子孔径拼接法测量高精度反射镜

摘要：

为了解决高精度光学反射镜的子孔径拼接检测问题,基于最小二乘拟合,依据拼接算法建立数学模型,编制了拼接程序,同时对口径为Φ120 mm的平面反射镜进行了拼接检测.检测中,基于标记点确定子孔径间的相对位置,完成子孔径间的对准.分别基于全口径检测结果与自检验子孔径测试结果对拼接结果进行精度分析.实验结果表明:拼接结果无“拼痕”,拼接结果与全口径测试结果、自检验子孔径测试结果一致;拼接结果与全口径面形测试的PV值与RMS值的偏差分别为0.020λ与0.002λ,验证了检测的可靠性和准确性.

关键词：光学检测、干涉测量、子孔径拼接、最小二乘拟合

所属期刊栏目：35

分类号：TN247;O436.1(光电子技术、激光技术)

资助基金：863基金资助项目O8663NJ090;973基金资助项目2011CB0132005;国家自然科学基金重点项目61036015

在线出版日期：2014-03-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：85-89