基于PSD的高精度光电定心仪

摘要：

针对目前定心仪精度不高、并依赖于人眼的现状,提出一种基于PSD的高精度定心仪研究方法.采用自准直光路形式和位置敏感探测器PSD对经过被测目标返回的光斑实行定位,并通过读取计算机上的坐标值来判断是否达到准确的定心.文中对定心仪的光学系统进行设计,并运用神经网络的训练来校正PSD的非线性,在测量范围±2 mm～±500 mm内定心精度达到1μm的设计要求.

关键词：光学设计、定心仪、高精度、PSD、非线性

所属期刊栏目：35

分类号：TN202;TH703(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家973重点基础研究发展规划资助项目2009CB72400603B;中国科学院航空光学成像与测量重点实验室开放课题Y2HC1SR123

在线出版日期：2014-03-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：7-10