基于干涉条纹图像对比法测量微位移

摘要：

研究了基于迈克尔逊干涉条纹对比法测量微位移的实验.用He-Ne激光器、反射镜和分束镜组成的干涉光路,其中一个反射镜固定在被测物体上,通过被测物体的移动带动反射镜移动使干涉光路发生变化,从而导致干涉条纹的改变.在形成干涉条纹的位置利用线阵CCD采集干涉条纹图像,用序列图像对比的方法对图像进行处理和计算,得出被测物体的微位移.实验表明利用序列图像对比的方法测量微位移,方法切实可行、测量准确度高、测量的精度能够达到微米量级.

关键词：相干光学、微位移、线阵CCD、图像分析

所属期刊栏目：33

分类号：TN249;O439(光电子技术、激光技术)

资助基金：河南省教育厅骨干教师计划项目和河南省教育厅重点资助项目12A510012

在线出版日期：2013-01-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：1069-1072