一种小型在线非接触球面干涉仪系统设计

摘要：

为了实现车间球面镜片的半径偏差的在线无损检测,基于激光检测技术,提出了一种无需精密导轨的小型球面干涉仪系统的设计方案,并对整个系统的检测原理进行了分析.通过Zemax软件模拟的分析验证,该系统不仅可以测出球面面形的像散偏差和局部偏差,而且还可以快速测出球面镜的半径偏差,其演算测得的曲率半径精度优于0.01％.与目前已有的球面干 涉仪相比较,具有系统结构紧凑、无精密导轨、操作效率高和低成本的特点,特别适用于车间的在线非接触检测.

关键词：干涉仪、半径偏差、在线检测、小型化

所属期刊栏目：33

分类号：TN247;TH744.3(光电子技术、激光技术)

资助基金：福建省科技计划重点项目2009H0020

在线出版日期：2013-01-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：1053-1057