横向剪切干涉中剪切量的选取及分析

摘要：

横向剪切干涉技术是一种直接测量波面相位分布的光学测量方法,由于其不需要高精度的参考平面,并且能够测量偏离量较大的表面面形偏差,因此得到了更为广泛的应用.但是,通常情况下剪切量大小的选择凭工作经验来确定.为了给出一种定量的剪切量判定方法,论文提出了一种基于Zernike多项式拟合的剪切量判定方法,通过计算机仿真和实验给出了剪切量与测量误差的关系,发现剪切量为测量口径1/10时即可达到良好的测量结果.

关键词：横向剪切干涉、Zernike拟合、剪切量

所属期刊栏目：33

分类号：O439;TH744(光学)

资助基金：陕西省教育厅项目2008KW-11,2009JK487

在线出版日期：2012-09-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：511-514