金刚石砂轮在精密光学加工中的应用技术

摘要：

在精密光学加工中,金刚石砂轮被广泛应用于精磨各种硬脆性材料.为了提高光学零件的表面质量,降低亚表面损伤,精密金刚石砂轮的制造及其光学加工工艺受到广泛的关注.综述了金刚石砂轮的结构、装夹方式、结合剂及基体的选用情况,对金刚石砂轮的静平衡和动平衡进行了分析,并提出了解决方案,运用该方案加工出的非球面零件面形精度Rt＜1 μm,Ra＜0.3 μm.实践证明,运用该方法加工出的零件达到了超精磨的水平,大大提高了后道工序的加工效率.

关键词：金刚石砂轮、精磨、静平衡、动平衡

所属期刊栏目：33

分类号：TN204(光电子技术、激光技术)

资助基金：华中光电技术研究所自研项目ZY36

在线出版日期：2012-05-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：170-174