非零位检测凸非球面反射镜的研究

摘要：

在简要总结各种检测凸非球面方法优缺点的基础上,提出了利用部分补偿法和子孔径拼接干涉检测凸非球面的新方法.分别研究和分析了这两种非零位检测非球面方法的基本原理和基础理论；设计并制作了部分补偿器件,并对其系统误差进行了标定；开发了综合优化和误差均化的子孔径拼接算法；设计并研制了两种方法都适用的检测装置.并结合实例对一口径为130 mm的碳化硅凸非球面分别进行了部分补偿检测和子孔径拼接测量,这两种方法测量所得的全口径面形分布是一致的,其PV值和RMS值的偏差仅为0.010λ和0.002λ(λ=0.632 8μm).从而提供了两种非零位补偿测试凸非球面的手段.

关键词：非零位检测、部分补偿、子孔径拼接干涉、凸非球面、零位补偿

所属期刊栏目：33

分类号：O436.1;TQ171.65(光学)

资助基金：863基金资助项目O8663NJ090;中国科学院长春光学精密机械与物理研究所创新三期基金资助项目O83Y32J080

在线出版日期：2012-05-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：124-128