采用变焦液体透镜的共焦检测系统的设计与仿真
共焦显微技术越来越广泛地应用于微机电系统和半导体器件的三维轮廓测量.设计一种新型采用变焦透镜作为轴向扫描方式的共焦显微系统,利用变焦透镜的焦距变化来代替传统的轴向位移扫描.系统实现了无机械运动的轴向扫描,消除了传统共焦系统中由位移台移动带来的振动,不仅减小了系统的复杂度,而且降低了成本.进一步设计了基于位移台和变焦透镜的两种共焦检测系统,并且对其进行了仿真实验.实验结果表明:基于位移台和基于变焦透镜的共焦系统的聚焦成像和离焦成像结果类似,并且光强的轴向分布曲线也基本相同,表明此方法可行.
三维轮廓测量、共焦显微镜、轴向扫描、变焦液体透镜
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TN202;TH742.9(光电子技术、激光技术)
自然科学基金中德科学中心GZ 404-303/2;上海市教委重点学科第5期J50505;上海市研究生创新基金项目JWCXSL1001
2012-05-15(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共6页
14-18,43