离子辅助沉积大口径传输反射镜面形控制研究

摘要：

针对大型激光系统中光束质量低和波前畸变等特点,采用离子辅助电子束蒸发技术成功实现对多层膜残余应力的精确控制.通过分析氧化铪、氧化硅单层膜残余应力变化规律,研究了离子源束压、束流参量对膜层折射率、残余应力性质及大小的影响.540 mm × 340 mm ×60 mm规格大口径传输反射镜面形PV值达到0.5λ(λ=632 nm),小光束损伤测试情况下,样品元件的损伤阈值大于30 J/cm2 (N-on-1,1 064 nm,5 ns),利用该技术制备的大口径传输反射镜已获得成功应用.

关键词：薄膜光学、面形控制、离子辅助、反射镜、损伤阈值

所属期刊栏目：32

分类号：TN205;O484.1(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2011-09-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：545-550