采用SPCE061A控制的白光干涉微纳扫描系统设计

摘要：

针对小推力压电陶瓷迟滞特性,提出一种用SPCE061A单片机控制的新型白光干涉微纳扫描系统的设计.该扫描系统采用低压误差放大器OP07和高压功率放大器PA78双级放大器件为核心元件,使系统的整体带宽与放大倍数可调节,并对扫描系统中压电陶瓷微位移器的迟滞曲线采用最小二乘曲线拟合法进行数学建模.实验结果表明:输出电压在(0～200)V连续可调,纹波电压的最大值为1.06 mV;应用于微纳扫描控制,能获得20 μm扫描范围,控制精度达10 nm,线性度为0.9,阶越响应时间1.5 μs,可实现对微纳扫描系统精确、快速开环控制.

关键词：压电陶瓷、白光干涉、迟滞特性、驱动电源、SPCE061A、数学建模

所属期刊栏目：30

分类号：TN722.7;TH703(基本电子电路)

资助基金：航空科学基金20085656018

在线出版日期：2009-06-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：391-396