增厚-光胶法控制超薄、变形平面零件的加工工艺研究

摘要：

以一直径为27mm,N=2,ΔN=0.5,B≤Ⅱ和θ≤2′的K9平面零件加工为例,详细介绍了增厚-光胶法控制超薄、变形平面的加工工艺流程及采取的关键工艺措施,并对加工过程中的参数进行了分析和总结,最后确定了保证该零件各项指标的量化参数.实践证明:该方法能够保证零件高精度面形及平行差要求,解决了超薄、变形零件在长期加工中出现的合格率低、返工率高现象.该方法在保证零件精度的同时,大大提高了生产效率,降低了成本,适用于批量加工.

关键词：增厚-光胶法、超薄光学元件、平面变形、光学加工

所属期刊栏目：30

分类号：TN204(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2009-04-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：93-95