子孔径拼接技术应用的研究

摘要：

大口径光学元件的检测开拓了子孔径拼接应用的新领域.采用小口径干涉仪对大口径被测元件不同区域进行波前检测,然后恢复计算出被测波前.使用光学设计软件ZEMAX对子孔径检测拼接技术进行了模拟,模拟结果表明:波前检测相对误差小于4.3λ‰,实现了对大口径光学元件面形的高精度检测,避免了相同口径检测干涉仪的使用,降低了检测成本及难度.

关键词：大口径光学元件、波前检测、子孔径拼接、小口径干涉仪

所属期刊栏目：29

分类号：TH706(仪器、仪表)

资助基金：国家863计划20040301;国防863项目

在线出版日期：2009-02-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：1009-1012