非球面碳化硅反射镜的加工与检测

摘要：

为了获得高精度非球面碳化硅(SiC)反射镜,对非球面碳化硅反射镜基底以及改性后碳化硅反射镜表面的加工与检测技术进行了研究.介绍了非球面计算机控制光学表面成型(CCOS)技术及FSGJ-2非球面数控加工设备.采用轮廓检测法和零位补偿干涉检测法分别对碳化硅反射镜研磨和抛光阶段的面形精度进行了检测,并采用零位补偿干涉检测法及表面粗糙度测量仪对最终加工完毕的碳化硅反射镜的面形精度和表面粗糙度进行检测.测量结果表明:各项技术指标均满足设计要求,其中非球面碳化硅(SiC)反射镜实际使用口径内的面形精度(RMS值)为0.016λ(λ=0.632 8 μm),表面粗糙度(RMS值)为0.85 nm.

关键词：非球面、碳化硅反射镜、计算机控制光学表面成型、表面改性

所属期刊栏目：29

分类号：TN205(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2009-02-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：1004-1008