酸蚀对微通道板电性能的影响

摘要：

采用扫描电镜(SEM)、卢瑟福背散射谱(RBS)、原子力显微镜(AFM)、能量色散谱仪(EDS)、照度计、微通道板测试台等分析表征手段,从微通道板皮料玻璃表面的成分、形貌和结构上,研究了酸蚀时间对微通道板电子增益、体电阻、噪声电流和电子图像等电性能的影响.研究结果表明:酸蚀时间显著影响微通道板的电性能,经酸蚀120 min后微通道板的电子增益和图像亮度达到最高值;随着酸蚀时间的增加,噪声电流相应增加,而体电阻降至一定值后保持相对的稳定.

关键词：微通道板、酸蚀时间、电性能

所属期刊栏目：29

分类号：TN223(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家高技术研究发展计划863计划2006AA03A208

在线出版日期：2008-05-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：161-165