基于菲涅耳微透镜的光学加速度传感器原理研究

摘要：

目前航空业惯性导航系统中广泛采用的加速度传感器存在抗电磁干扰(EMI)和电磁冲击(EMP)能力差等缺陷,针对此提出了一种基于菲涅耳衍射微透镜的光学加速度传感器,它能够有效地解决上述问题.该传感器的传感原理是把一个反光膜平行地置于微透镜的后方,根据微透镜前方汇聚点处光强的变化来敏感加速度的大小.通过Fresnel-Kirchhoff衍射公式详细推导了传感器的光学原理,并且对光纤的偏移对光强的影响进行了计算机模拟分析.结果表明:光纤接收的光强对反光膜的位置具有纳米级的灵敏度,并且对光纤沿微透镜焦平面方向的偏移极其敏感,当此偏移超过2 μm,光强就会下降至不足理想情况下的50%.验证性实验结果表明这种传感器的原理是正确的.

关键词：光纤光学、菲涅耳衍射微透镜、光学加速度传感器、微机电系统

所属期刊栏目：28

分类号：TN25;TP212.14-34(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家自然科学基金10477015;教育部跨世纪优秀人才培养计划NCET-05-0843;陕西省科技攻关项目2004K05-G14;陕西省西安市科技攻关项目GG05042

在线出版日期：2007-08-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：435-438,444