移相式干涉仪在锥体棱镜角度测试中的应用

摘要：

为了实时、高精度地测试光学零件,对移相式数字波面干涉仪在锥体棱镜角度测试中的应用进行了研究.通过锥体棱镜二面角偏差计算方法得到了二面角偏差和干涉波面之间的关系,分析了干涉波面的形状与锥体棱镜综合误差的关系,编写了锥体棱镜角度和综合误差测试程序,并且在移相式数字波面干涉仪和ZYGO干涉仪上分别对锥体棱镜进行测试,给出了2者的比较测试结果.结果表明,移相式数字波面干涉仪测量锥体棱镜二面角偏差的误差在0.3″范围内,RMS值的测量误差在λ/50内;提出的方法可实现检测过程的自动化.

关键词：移相式干涉仪、锥体棱镜、角度误差

所属期刊栏目：27

分类号：TN2(光电子技术、激光技术)

资助基金：江苏省重点实验室基金T8108030

在线出版日期：2006-10-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：450-454