子孔径拼接法检验大口径光学镜面精度分析

摘要：

介绍子孔径拼接检测大口径光学镜面的原理,即用小口径的平面干涉仪检验大口径平面的一部分,通过改变2者相对位置获得覆盖到整个被检验镜面的子孔径检测数据.提出利用最小二乘法对相邻2个子孔径重叠部分的检测数据进行计算来确定实际所有子孔径之间的位置关系,进而得到拼接而成的整体面形信息.并对子孔径拼接成的面型与实际面型的误差进行分析,建立了对子孔径拼接全口径波面恢复精度的评价指标.根据子孔径拼接原理完成了实验,并对多组子孔径数据拼接后的波面恢复精度进行了分析.实验证明,子孔径拼接检测大口径光学元件综合误差小,重复精度高.

关键词：大口径光学平面、子孔径拼接、波面恢复、面形误差、精度分析

所属期刊栏目：27

分类号：O4(物理学)

在线出版日期：2006-10-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：446-449,466