短波通滤光片膜系设计

摘要：

详细介绍用等效折射率概念设计短波通滤光片的原理和计算方法.根据原理和方法,选择二氧化钛(TiO2)作为高折射率材料、二氧化硅(SiO2)作为低折射率材料.首先从理论上计算出用这2种材料设计的波长λ=950～1 150 nm的短波通滤光片所需要的周期数,然后给出短波通滤光片的主膜系和光谱曲线.由于据此周期数设计出的膜系光谱曲线在750～810 nm处的透过率不符合要求,因此对该膜系进行了改进.依照改进的设计进行多次制备,最终制备出了符合要求的短波通滤光片,找到了最佳制备工艺和方法.最后,对制备出来的短波通滤光片薄膜进行了各种环境实验.实验结果表明,膜层的各项指标符合设计要求.

关键词：短波通滤光片、膜系设计、等效折射率、周期数数

所属期刊栏目：27

分类号：TN3(半导体技术)

在线出版日期：2006-10-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：415-418