宽带膜厚实时监控过程中膜层折射率的确定方法

摘要：

为了准确计算出镀膜过程中每层膜的折射率,介绍了实时监控过程中确定膜层折射率的2种方法:一种是由实测的透射比光谱直接反算出膜层的折射率;另一种是用最小二乘法的优化算法实时拟合折射率.试验结果表明:在线反算适合单点监控,所得折射率误差小于2%.然而在实际镀膜过程中,由于宽带内膜层参数误差较大,一般大于25%.为此,采用最小二乘法拟合,即在整个宽光谱范围内采集每个波长点的信息,所得结果误差很小,一般都在2%～5%之间,有时可达到10%,在很大程度上提高了实际镀膜时膜厚监控的精度.

关键词：膜层折射率、膜厚监控、最小二乘法、薄膜镀制

所属期刊栏目：27

分类号：O4(物理学)

资助基金：国家兵器支撑基金YJ0267051;陕西省教育厅资助项目03JC28

在线出版日期：2006-08-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：336-339