MathCAD在椭圆偏振仪测定薄膜光学常数中的应用

摘要：

薄膜光学常数决定薄膜的光学性能.通过对椭圆偏振仪测试原理的分析,得到求解薄膜光学常数超越方程的数值算法简化公式,并利用MathCAD的"Solve Block"模块开发了基于Windows系统的椭圆偏振测量薄膜光学常数的计算程序,该程序可用于单层有吸收薄膜或无吸收薄膜折射率和厚度的计算.实际应用结果表明,该计算具有数值准确、精度高、运算速度快、适应性好,对系统无特殊要求等优点,可用于薄膜制备过程的在线检测.

关键词：椭圆偏振仪、薄膜光学常数、薄膜折射率、薄膜厚度、MathCAD

所属期刊栏目：27

分类号：TP391.72;O484.5(计算技术、计算机技术)

资助基金：湖北省教育厅优秀中青年科技创新团队基金2003b00

在线出版日期：2006-06-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：254-257