电子束蒸发TiO2薄膜的光学特性

摘要：

研究了不同工艺参数条件下,电子束蒸发TiO2薄膜的光学特性.在正交实验的基础上,利用离子束辅助沉积技术,获得了影响TiO2薄膜折射率的主要因素,得到了TiO2薄膜的折射率随氧气分压的关系.对离子氧和分子氧两种情况下TiO2薄膜的折射率进行了比较,得到了TiO2薄膜的折射率与沉积速度的关系,并给出了TiO2薄膜的红外吸收光谱.

关键词：电子束蒸发、TiO2薄膜、折射率、红外吸收光谱

所属期刊栏目：25

分类号：O484.1(固体物理学)

在线出版日期：2004-10-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：53-55,50