脉冲源所镀DLC膜成份的分析

摘要：

类金刚石薄膜(DLC膜)的成份(主要指sp3键和sp2键)是影响薄膜性能如薄膜的机械特性和电阻特性等的重要因素.因此,研究DLC膜的成份是非常必要的.本文介绍用X射线光电子能谱仪(XPS)测量薄膜成份的方法.通过采用脉冲真空电弧离子源研究在各种工艺条件下镀制的DLC膜,发现了影响DLC膜成份的主要因素.

关键词：脉冲电弧、DLC膜、薄膜成份

所属期刊栏目：24

分类号：O484.4-34(固体物理学)

在线出版日期：2003-11-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：44-46