10.3969/j.issn.1002-2082.2001.06.010
制备长波段X射线多层膜的新方法
叙述用离子束溅射镀膜机OXFORD进行X射线长波段多层膜实验及制备X射线多层膜光学元件方面的工作.简述离子束溅射镀膜机的工作原理 ,X射线多层膜的制备过程,主要工艺参数,以及用X射线小角衍射仪对制备样品周期结构的检测和用软X射线反射率计测反射率的部分结果.
软X射线多层膜、离子束溅射、反射率计
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O484.4+1-32(固体物理学)
2004-01-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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