10.3969/j.issn.1002-2082.2001.06.007
二代微光器件工艺质量分析
用四极滤质器对微光管工艺质量进行检测,发现工艺质量污染及制管成品率低的主要原因是由于真空机组中油蒸气污染和操作方法不正确所致.通过实验,本文给出了解决油蒸气污染的措施和正确排气的操作方法.建议采用一种多用途的全无油真空装置.最后对四极滤质器在微光工艺中应进一步开展的工作提出几点建议.
四极滤质器、微光器件、油污染、油蒸气
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TN223-34(光电子技术、激光技术)
2004-01-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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