透射式GaAs光电阴极激活技术研究

摘要：

通过对成像器件GaAs负电子亲合势(NEA)光电阴极激活技术的研究,运用分析仪器进行工艺质量在线监测,在大、薄、匀的GaAs外延层激活出的台内阴极灵敏度大于1300μA/lm.

关键词：GaAs、NEA光电阴极、激活、在线监测、双冷铟封

所属期刊栏目：21

分类号：TN223-34(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：5-7,11