10.3969/j.issn.1673-8012.2008.02.011
ZnO薄膜的研究现状
通过介绍ZnO的晶体结构和基本物理性质,系统地讲述国内外ZnO薄膜的溅射法、喷雾热解法(SP)、气相沉积法(CVD)、脉冲激光沉积法(PLD)、溶胶-凝胶法(Sol-gel)等制备方法及各自的优缺点,较为详细地列举了国内外ZnO薄膜在工程技术中的应用.
ZnO薄膜、晶体结构、制备
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TN304.21(半导体技术)
2008-06-23(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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