传统卤化银感光材料的生产工艺与集成电路制造工艺比较研究

摘要：

本文通过对传统卤化银感光材料的生产工艺中显影加工工序和集成电路制造工艺中光刻工序的比较研究,表明二者在工艺上具有某些相似点,相互之间可以借鉴.

关键词：光刻、卤化银、集成电路

所属期刊栏目：20

分类号：TQ574;TQ577.3+5

在线出版日期：2008-09-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：14-16