10.3969/j.issn.1001-0270.2006.02.004
超微粒照相干版生产技术的研究
超微粒照相干版是用于生产大规模集成电路的重要工具,在研制过程中解决了"超微粒"、"超洁净"、"超平整度"三项主要技术难关.本项研究工作曾获得北京市科学技术成果一等奖.
超微粒照相干版、超解像力、超洁净度
TQ577.2+4
2006-05-16(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共5页
14-18
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10.3969/j.issn.1001-0270.2006.02.004
超微粒照相干版、超解像力、超洁净度
TQ577.2+4
2006-05-16(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共5页
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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