高支化碱溶性丙烯酸化聚酯光刻胶的性能及成像性研究

摘要：

将高支化碱溶性丙烯酸化聚酯用于光改抗蚀剂,因其独特的三维结构而具有的低粘度,高活性使抗蚀剂膜收缩率小,而具有良好的成像显影性.通过控制合适的树脂酸值及成像显影条件,可得到良好断面的图像,并且抗蚀剂线条图分辨率可达～1μm.当光源分别为平行光和点光源时图像清晰程度不一样:平行光比点光源好.

关键词：高支化、感光聚合物、抗蚀剂、光成像

分类号：TQ31

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：11-14