10.3969/j.issn.1671-7120.2010.03.001
Si/Ce化学气相共沉积制备抗结焦涂层的研究
对Si/Ce化学气相共沉积在裂解炉管内表面制备抗结焦涂层进行了研究.通过EDS、SEM、XRD对硅沉积涂层和硅铈共沉积涂层进行表征,发现Ce的加入可以减少沉积过程中C元素在涂层中的沉积,从而在炉管内表面得到致密、平整的涂层.石脑油裂解实验表明,硅铈共沉积涂层表现出了较优的抗结焦能力,经过6次石脑油2小时裂解试验后结焦抑制率依然保持在50%以上,该涂层对裂解产物的三烯收率影响不明显.
化学气相沉积、涂层、抑制结焦
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TQ5;TB3
2011-01-28(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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