多晶硅生产中回收氢气的净化

摘要：

本文介绍了回收氢气净化的基本原理、工艺流程,及用回收氢气生产多晶硅的实践结果,分析了半导体多晶硅生产中,利用活性炭净化从还原炉尾气中回收的氢气.

关键词：多晶硅、活性碳、氢气、净化

所属期刊栏目：29

分类号：TN304.05(半导体技术)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：17-19