10.19611/j.cnki.cn11-2919/tg.2023.03.004
M5211-6-UM型立式硼扩散设备研制
M5211-6-UM型立式硼扩散炉用于晶体硅太阳能电池片硼扩散工艺,具有全自动化、高产能、低能耗、维护便捷等特点.本文介绍了该型号设备的结构组成及性能,给出了能耗和工艺结果,结果表明该设备各方面性能已达到国内领先水平,具备产业化条件.
硼扩散、石英舟、方阻均匀性
37
TM914.41
2023-08-11(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共4页
21-24
点击收藏,不怕下次找不到~
10.19611/j.cnki.cn11-2919/tg.2023.03.004
硼扩散、石英舟、方阻均匀性
37
TM914.41
2023-08-11(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共4页
21-24
国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
©天津万方数据有限公司 津ICP备20003920号-1
违法和不良信息举报电话:4000115888 举报邮箱:problem@wanfangdata.com.cn