10.3969/j.issn.1004-2660.2019.02.015
多晶硅生产中的质量控制探讨
多晶硅是一种高纯度的硅材料,在电子生产领域有着广泛的应用.随着近年来电子产业的发展,以及移动通讯5G时代即将来临,无疑会对于电子产品产生更加丰富的应用需求,将对多晶硅等原材料的生产提出更高的要求.所以,该文以多晶硅质量作为探讨的核心,以改良西门子法的具体应用,探讨加强多晶硅生产质量的方式,以期能够为相关领域提供些许理论借鉴.
多晶硅、改良西门子法、生产质量
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O657.3(分析化学)
2019-07-26(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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