多晶硅项目设备管道化学清洗的管理技术

摘要：

多晶硅生产对物料管道及生产设备的清洁要求很高,要达到无水、无油、无尘.由于多晶硅生产工艺过程复杂,为保证正常生产,建设过程中物料管道、设备的清洁度尤为重要,清洗工作量大、控制点多、工作面广,在过程管控中要达到要求,确保洁净度达到预期效果,管理方法和措施是实现预期效果的有力保障.笔者根据项目实践,总结出一套行之有效的管理、检验和过程控制方法,为提高多晶硅项目设备、管道化学清洗的管理提供借鉴.

关键词：化学清洗、设备清洗、管道清洗、设备管理、多晶硅生产

所属期刊栏目：43

分类号：TG178(金属学与热处理)

在线出版日期：2016-11-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：57-60,63