超声酸洗去除晶体硅切割废料中的杂质铁

摘要：

主要研究了超声场环境下晶体硅切割废料的净化除铁工艺.首先,采用XRF、XRD、SEM、ICP及粒度分析等手段研究了切割废料的物理化学性质.然后,研究了不同浸出剂及配比、酸浸温度、机械搅拌速率以及超声波功率和频率对切割废料中杂质铁的浸出效果.结果 表明,较优超声酸浸工艺条件为:浸出剂为盐酸与硫酸的混合酸(HCl∶H2SO4为3∶2)、酸浸温度60℃、浸出时间50 min、搅拌速率200 r/min、超声波功率270 W、超声波频率45 kHz.在此条件下,铁的浸出率可达97.10％.最后,将最优条件下酸浸后的切割废料用于制备碳化硅,XRD分析结果表明,所得产物的物相只有SiC和少量了SiO2,且SiC的纯度可达96.80％.

关键词：晶体硅切割废料、超声酸浸、铁浸出率、SiC

所属期刊栏目：10

分类号：TF123(冶金技术)

资助基金：国家重点研发计划专项2017YFB0310302-2

在线出版日期：2020-05-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：35-40