工艺参数对Ti0.33Al0.67N梯度膜层形貌及性能的影响

摘要：

研究基体负偏压、氮分压及合金靶电流等工艺参数对Ti0.33Al0.67N梯度膜层性能的影响.结果表明,Ti0.33Al0.67N梯度膜层随着各工艺参数的增大表面形貌得到改善、沉积率增大,当超过某一个值时,却随着参数的增加形貌恶劣、沉积率降低.工艺参数对膜层显微硬度影响的次序为:TiAl合金靶电流＞基体负偏压＞氮分压.对膜基结合力影响次序为:基体负偏压＞氮分压＞TiAl合金靶电流.在试验设计的参数水平范围内,在齿轮材料40Cr表面较优的镀覆工艺参数:基体负偏压150 V、TiAl靶电流60 A、氮分压0.5 Pa.

关键词：梯度膜层、工艺参数、Ti0.33Al0.67N

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分类号：TG174.44;TG146.21(金属学与热处理)

资助基金：江苏省海洋资源开发研究院2011年度开放基金项目JSIMR11C27

在线出版日期：2013-01-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：29-32