10.3969/j.issn.2095-1744.2012.06.003
工艺参数对Ti0.33Al0.67N梯度膜层形貌及性能的影响
研究基体负偏压、氮分压及合金靶电流等工艺参数对Ti0.33Al0.67N梯度膜层性能的影响.结果表明,Ti0.33Al0.67N梯度膜层随着各工艺参数的增大表面形貌得到改善、沉积率增大,当超过某一个值时,却随着参数的增加形貌恶劣、沉积率降低.工艺参数对膜层显微硬度影响的次序为:TiAl合金靶电流>基体负偏压>氮分压.对膜基结合力影响次序为:基体负偏压>氮分压>TiAl合金靶电流.在试验设计的参数水平范围内,在齿轮材料40Cr表面较优的镀覆工艺参数:基体负偏压150 V、TiAl靶电流60 A、氮分压0.5 Pa.
梯度膜层、工艺参数、Ti0.33Al0.67N
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TG174.44;TG146.21(金属学与热处理)
江苏省海洋资源开发研究院2011年度开放基金项目JSIMR11C27
2013-01-21(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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