成形工艺对烧结法制备ITO靶材的影响

摘要：

以平均粒径为30nm的ITO粉体为原料,添加少量聚乙烯醇(PVA)造粒.模压成形获得索坯,在氧气氛、1550℃烧结索坯制备ITO靶材.采用100～600MPa的成形压力,添加0.5%,1.0%,2.5%的PVA制备靶材,研究压力和PVA添加量对靶材制备的影响.结果表明,成形压力在100～500MPa内,素坯及靶材密度随压力升高而增大,500MPa时达到最大值,分别为47.5%和99.16%.600MPa时素坯和靶材密度略微降低.成形压力越高,摩擦导致的压力损失越大,素坯脱模越困难.增大PVA添加量,素坯更易脱模,且坯体内密度分布更均一.添加1.0%的PVA时获得的素坯及靶材密度最高,分别为45.21%和98.45%.得出素坯的较佳制备条件为成型压力400MPa,PVA添加1.0%.

关键词：粉末冶金、ITO靶材、素坯、成形压力、PVA

所属期刊栏目：62

分类号：TF124(冶金技术)

资助基金：国家高技术研究"863"计划项目2004AA303542

在线出版日期：2011-01-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：30-33