多晶硅锭凝固过程的影响因素分析及数值模拟

摘要：

采用数值模拟方法研究几何参数及热量变化对多晶硅锭凝固过程固-液界面形状和温度梯度的影响.分析表明,随固化量的增加,温度梯度先快速下降之后趋于常量.在冷源半径保持相对较小值的条件下,界面曲率出现最大值.冷源半径如果相对较大,界面曲率一直呈上升趋势.增大石墨托底的厚度和坩埚的厚度使界面曲率下降.倘若增大石墨托侧壁的厚度则界面曲率增大.因此采用底部较厚的石墨托有利于获得较小的界面曲率.

关键词：材料科学基础、多晶硅锭、数值模拟、凝固、固-液界面

所属期刊栏目：55

分类号：TB34;TK512(工程材料学)

在线出版日期：2004-03-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：15-17