基于MEMS技术的时差振荡高精度硅压力传感器

摘要：

基于MEMS技术的时差振荡高精度硅压力传感器是一种全新理念的高精度压力传感器。它通过检测压力敏感膜片正向和反向电阻的放电时间的比值间接测量压力，为数字信号输出。其抗干扰能力强，性能稳定、结构紧凑，相对微硅压阻压力传感器和微硅电容式压力传感器精度高、稳定可靠，主要性能指标和微硅谐振式压力传感器相当，但较之微硅谐振式压力传感器具有工艺简单、成本低、便于产业化生产。其原理由安徽皖科电子工程有限公司首次提出，具有原创性，拥有自主知识产权，并掌握核心技术。

关键词：MEMS、时差振荡、数字信号、高精度、低功耗

所属期刊栏目：23

分类号：TP2;TH8

在线出版日期：2016-12-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：24-27,30