小微气体流量计量技术的应用

摘要：

小微气体流量测量技术广泛应用于航空航天、半导体加工、医疗生物、电子汽车等行业.随着气体小流量测试技术研究的深入,高精度、高可靠的气体小流量标准装置也不断发展.依据层流元件的结构特性可以看出,层流流量计作为标准表也越来越受计量检测单位的重视,其精度高、耐高压、体积小、结构简单、系统装置操作简易,是一个高精度、范围宽的小微气体流量标准装置.已研制成功的基于层流技术的小微气体流量标准装置在国内首次形成便携的小微气体流量计量技术能力.

关键词：小微气体流量测量、气体流量计、气体流量标准装置、计量技术、层流技术

分类号：TH814;TH71;TB937

在线出版日期：2022-06-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：15-17