光学薄膜自动化控制系统简述

摘要：

光学薄膜产品在军事、空间科学和工农业生产中发挥着重要作用.面对日益复杂的需求,膜系设计动辄数十、上百层,纯手动或半自动化的镀膜机已经不能满足现有需求.随着计算机和自动化技术的发展,全自动精密光学镀膜机的出现成为现实.主要介绍全自动真空蒸发镀膜机自动化系统的构成、相关硬件模块和软件内容.

关键词：石英晶体振荡控制器、光学监控、可编程控制器PLC

分类号：TP27;TN752.2(自动化技术及设备)

在线出版日期：2014-12-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：25-28