基于PSD的薄膜场发射极板位置测量及误差分析

摘要：

文章介绍了一种基于PSD体系结构的微小位移测量系统在场薄膜发射中的应用,详细叙述了该检测系统的测量的原理,根据信号传递过程确定了该方法的误差因素,分析了误差产生的原因,估算了该方法的测量精度,结果表明,采用该方法测量是可行的.

关键词：PSD、薄膜发射、位置测量、误差

分类号：TH7(仪器、仪表)

在线出版日期：2008-03-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：17-19