10.3969/j.issn.1002-3720.2007.04.007
基于PSD的薄膜场发射极板位置测量及误差分析
文章介绍了一种基于PSD体系结构的微小位移测量系统在场薄膜发射中的应用,详细叙述了该检测系统的测量的原理,根据信号传递过程确定了该方法的误差因素,分析了误差产生的原因,估算了该方法的测量精度,结果表明,采用该方法测量是可行的.
PSD、薄膜发射、位置测量、误差
TH7(仪器、仪表)
2008-03-10(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共3页
17-19
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10.3969/j.issn.1002-3720.2007.04.007
PSD、薄膜发射、位置测量、误差
TH7(仪器、仪表)
2008-03-10(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共3页
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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