10.3969/j.issn.1002-3720.2004.01.008
智能真空在线镀膜测厚仪
介绍了一种基于ATMELAVR8515单片机控制的真空在线镀膜测厚仪的工作原理,给出了用于真空镀膜在线厚度测量的测量原理及该测量仪的硬件组成原理和相应的软件设计方法和流程框图.该测厚仪设计了与上位计算机进行远距离信号传输的RS-232C接口,通过上位计算机可以实现测厚仪系统参数的设定和控制.实际应用表明该仪器具有良好的性能和可靠性.
真空镀膜、测厚、AVR单片机、在线测试、可靠性
TP18(自动化基础理论)
2005-10-27(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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