无应力平面检测干涉仪在平晶检测中的应用

摘要：

平晶主要用于检测工作面的平面度、直线度及研和性等参数.目前常用等厚干涉仪配合标准平晶对工作平晶平面度进行检测,此种方法的不足是影响检测结果的因素较多,且效率不高.本文介绍了无应力平面检测干涉仪检测平晶平面度的方法,通过比较体现了其可靠性及优势.

关键词：平晶、平面度、干涉仪、检测

在线出版日期：2019-01-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：43-45