蓝宝石衬底损伤层厚度和折射率的椭偏测量

摘要：

为了定量测量蓝宝石衬底在化学机械抛光过程中产生的损伤层厚度d和折射率n,提出了一种光谱椭偏测量法.首先,测量蓝宝石衬底反射光谱(波长范围:250～1 650 nm)偏振态的改变量(即振幅比和相位差);然后,通过光学建模和测量数据反演,获得损伤层d和n.实验研究了Al2O3 和SiO2 两种磨料加工蓝宝石衬底损伤层d和n的变化趋势,前者d呈现波动趋势且最小值(约 1.4 nm)出现在 40 min左右,后者d持续下降,在 20 min接近 1 nm;二者损伤层n均小于蓝宝石晶体n.另外,实验和仿真分析结果表明相位差与厚度变化趋势一致,因无需建模反演,可作为快速表征损伤层d变化趋势的参量.总之,所提方法作为光学无损测量模式,适用于加工过程监测.

关键词：光谱椭偏、蓝宝石衬底、损伤层、厚度、折射率

所属期刊栏目：44

分类号：TH74(仪器、仪表)

资助基金：国家自然科学基金52275531

在线出版日期：2023-10-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：37-43