基于刚度轴偏角预估机制的MEMS多环谐振陀螺全闭环控制方法

摘要：

针对微机电系统多环谐振陀螺正交闭环回路存在控制误差问题,提出一种基于刚度轴偏角预估机制的多环陀螺全闭环控制方法.该方法通过对微机电系统多环谐振陀螺刚度轴偏角预估,实现正交闭环回路参数自动优化调整.同时,提出了基于刚度轴偏角预估机制的全数字化闭环控制方法,实现微机电系统多环谐振陀螺的驱动、检测、正交、模态匹配环路的全闭环控制.该方法可提升正交闭环回路信噪比,增强陀螺正交漂移的抑制能力,降低陀螺零偏输出,改善陀螺的零偏不稳定性.实验结果表明,采用本文提出的基于刚度轴偏角预估机制的全闭环控制方法后,微机电系统多环谐振陀螺的零偏输出由 0.201°/s降低为 0.0213°/s,零偏不稳定性由39.42°/h降低为1.237°/h,分别降低了9.44 倍和31.86 倍,验证了该方法对提升微机电系统多环谐振陀螺仪性能的有效性.

关键词：微机电系统多环谐振陀螺、刚度轴偏角预估、全闭环控制

所属期刊栏目：44

分类号：TH824

资助基金：国家自然科学基金;装备预研基金快速扶持项目

在线出版日期：2023-07-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共9页

页码：46-54