微米级电容式静力水准器设计及标定研究

摘要：

基于当前高能同步辐射光源(HEPS)装置的沉降监测需求,课题组设计关键参数和结构,研制了国内首个微米级单极板电容式静力水准器样机.本文重点研究该水准器的标定和精度验证,针对传统的标准量块和位移台标定法存在标定精度低、机械加工要求高等问题,创新性采用单水准器直接标定法和多段拟合参数获取方案,实现10mm量程的微米级标定;同时提出采用激光反馈干涉仪联合纳米级位移台直接监测液位变化,实现单水准器的全量程精度验证,精度3μm;通过重载位移台进行了7 m距离的两点监测系统的精度验证,在10 mm量程内相对高程监测精度可达到5 μm.结果表明样机精度符合设计要求,可为我国大型装置的高精度高程向监测提供可靠手段.

关键词：微米级、电容式水准器、单水准器标定、精度验证

所属期刊栏目：43

分类号：TL53;TH74(加速器)

资助基金：国家自然科学基金12075246

在线出版日期：2023-02-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：27-33