基于最小PV值的非球面测量Z轴定位方法

摘要：

在基于Zygo干涉仪的非球面检测中,沿光轴(Z轴)方向的定位精度直接影响测量结果的准确性.本文提出了一种基于最小PV值的非球面测量Z轴定位方法,分析了非球面与参考球面波的理论模型,推导出了对应的最佳参考球面波半径、顶点偏离量以及理论测量位置,并在此基础上完成了沿Z轴方向0.001 mm精度范围内的定位过程.该方法可将被测非球面定位至理论测量位置,有效地降低由于定位误差造成的测量误差;准确找到参考球面波半径,对基于Zygo干涉仪的点云重构和拼接方法也具有重要意义.对一直径为108 mm的非球面镜进行了实验验证,定位后的结果与最佳参考球面波的点云数据计算结果对比,结果接近,证明了定位方法的正确性;并与零位检测结果相比,PV值残差为0.047λ,RMS残差为0.019λ,进一步证明了该定位方法的准确性.

关键词：非球面检测、干涉测量、Z轴定位、最小PV值

所属期刊栏目：43

分类号：TH741(仪器、仪表)

资助基金：国家自然科学基金;苏州市重点产业技术创新项目;西安交通大学基本科研业务费—自由探索与创新类项目

在线出版日期：2022-09-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共9页

页码：29-37