基于分时方法的高精度反射绝对式纳米时栅位移传感器设计

摘要：

本文提出了一种反射绝对式纳米时栅位移传感器的传感方法.采用反射单列式传感器作为反射绝对式传感器的精密测量部分,记为传感器A.为了实现绝对位移测量,设计了一个与传感器A相差一个周期的反射单列式传感器,记为传感器B,利用传感器A与传感器B相位作差实现绝对位移测量.采用标准印刷电路板技术制作了传感器样机,搭建了实验平台,进行了实验测试.测试结果表明,激励电极引线方式对接收电极带来干扰,从而造成一次谐波误差.为了抑制误差,提出了交叉反射结构和分时方法,交叉反射结构将感应电极与另一端的反射电极引线相连,增大激励电极和接收电极的距离,分时方法通过不同时间段对传感器A和传感器B施加激励信号,并把不工作的电极接地.实验表明该结构和方法相互配合有效的抑制了干扰,最终在400 mm范围内,补偿后实现了±300 nm的测量精度.

关键词：绝对位移测量;纳米时栅;分时方法;位移传感器

所属期刊栏目：41

分类号：TH712(仪器、仪表)

资助基金：国家自然科学基金;重庆理工大学科研启动基金;科技创新项目

在线出版日期：2021-12-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共9页

页码：97-105